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类型:高效 | 材质:PE | 适用对象:空气 |
适用范围:过滤器 | 品牌:Pall/颇尔 | 用途:气液过滤 |
样式:100 | 目数:10目/英寸 | 工作温度:90℃ |
性能:耐高温 | 型号:1100 |
ENTEGRIS 应特格 PFA过滤器,Mykrolis筒式过滤器,PFA塑料过滤器
Entegris(应特格)为电子,半导体,液晶显示等行业提供超纯水过滤,高纯化学品过滤,超纯工艺气体过滤,气体纯化等设备及配件。
应用行业:半导体、太阳能、液晶面板制造等行业,或者其他一些有超高纯流体要求的行业.
应用流体:盐酸、硝酸、双氧水以及其他一些有超高纯、防腐蚀要求的化学品流体.
接头身体部分材质为高纯PFA.简单的设计、简易的安装,用热风枪工具和扩口器即可完成安装,程度地减少您的安装时间和成本.工作压力为145PSI
推荐在洁净的工作环境下安装,这样只会有极少数颗粒杂质附着在表面.
连接方式:扩口式连接、卡套式连接、螺纹式连接、焊接式
连接尺寸:1/4"-1 1/4",JIS标准也可以提供.
提供:过滤、纯化和分离解决方案,广泛用于涵盖各类流体,例如化学品、气体、水、CMP研磨液和光阻,显影液。
应用行业:半导体,微电子,太阳能光伏,液晶显示,光纤等领域。
过滤介质:高纯化学品,工艺气体,高纯特气,纯水,化学药液 , 有机溶剂等。
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去离子水,纯化水,电子级超纯水过滤器PALL滤芯。
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掺杂用气体、外延晶体生长气、离子注入气、刻蚀用气体、气相沉积(CVD)气体、平衡/反应气体、掺杂配方气体。
半导体工艺过程中主要使用的化学液大致可分四类,酸、碱、有机物化学研磨液、配比类化学液。
(1)酸。含有氢离子的液体叫做酸,包括HF、HN03、H2S04、王水和H3P04等,以下是一些在半导体加工中常用的酸及其用途:
a)氢氟酸HF,通过氢氟酸溶解二氧化硅这一特性来腐蚀玻璃、石英和硅片表面上的氧化层来达到刻蚀和清洗的目的。
b)盐酸HCL,通过双氧水氧化污染的金属,而酸与金属离子生成可溶性的氯化物而溶解,最终达到去除金属污染物的目的。
c)硫酸H2S04,通过硫酸及双氧水的强氧化性和脱水性破坏有机物的碳氢键,去除有机不纯物。
(2)碱,含有氢氧离子的液体叫做碱,包括NH4OH、NaOH、KOH和氢氧化四甲基铵,以下是一些在半导体加工中常用的碱及其用途:
a)氨水NH4OH。SC1 溶液是由氨水、双氧水和去离子水组成。通过利用氨水的弱碱性活化硅晶圆及微粒子表面,使晶圆表面与微粒子间产生互相排斥作用,以达到去除微粒子的作用。并且氨水与部分过度金属离子形成可溶性络合物,去除金属不溶物。具有氧化作用的双氧水氧化晶圆表面的作用,然后氨水对硅氧化物进行微刻蚀,去除颗粒。
b)氢氧化钾KOH,溶有硅土(Siica,Si02)的氢氧化钾溶液或者氨水溶液,使用在化学机械抛光制程中,是一种界电层平坦化研磨液,还是组成光刻后显影液的一种成分。
(3)有机溶剂,包含异丙醉、NMP、乙醇、显影液、光刻胶稀释剂等等。以下是一些在半导体加工中常用的有机溶剂及其用途:
a)异丙醇,行业中称为IPA,常利用IPA和水气溶的特性作为晶圆的干燥剂。
b)丙酮,常用于黄光室里正光阻清洗去除。
(4)配比类化学品如SC-1、SC-2、DHEF、BOE、SPM等配比化学品。
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化学品自动供液系统: 应用领域:半导体、太阳能、液晶面板、光纤等生产领域 常用化学品:HF/HNO3/HCL/H2SO4 /KOH/NAOH/H2O2/NH4OH等
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