POU气体过滤器，PALL半导体气体过滤器，YY5032PR1终端高纯气体过滤器详细介绍

Entegris气体扩散器，WGFGT1PR1超纯气体过滤器，半导体CVD制程设备气体过滤器

Entegris气体扩散器，WGFGT1PR1超纯气体过滤器，半导体CVD制程设备气体过滤器
CVD制程设备工艺气体过滤器，半导体制程工艺气体过滤器。

Entegris气体过滤器，Mykrolis气体扩散器，WGMXMBRR4半导体超纯气体过滤器

ENTEGRIS应特格Wafergard SG 气体过滤器，WGFGMBRR2***

ENTEGRIS WGFGMBRR2. ENTEGRIS WGFGMBRR4. ENTEGRIS WGFGMBSS2.

ENTEGRIS WGFGMBSS3. ENTEGRIS WGFGMBSS4. ENTEGRIS WGFGT1PR1.

Wafergard SG 气体过滤器
Wafergard SG YY 系列气体过滤器提供***的微粒过滤，以限度地提高光伏电池和显示器的生产产量。 

与高纯度气体、惰性气体和 CDA 应用具有***兼容性
***的下游清洁度
应用
Wafergard SG 气体过滤器应用
光伏工艺气体
显示器制造工艺气体
煤气柜
阀组箱
气体面板
零件号
Wafergard SG 气体过滤器部件号
零件号 产品类别 流量 接头尺寸和类型 长度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/2" 垫圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/2" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）公入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 1/2" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 1/2" 压缩密封（兼容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 200 升/分钟 3/8" 垫圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 200 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）

Entegris 英特格公司致力于通过改进几个关键工艺（包括光刻，湿法蚀刻和清洁，化学机械平面化，薄膜沉积，批量化学处理，晶圆和掩模版处理和运输以及测试）中的污染控制来帮助制造商提高产量， 装配和包装，公司约80％的产品用于半导体行业。